ArF Resist

TOK ArFフォトレジストソリューションズ

TOKは193nm帯のArFフォトレジスト材料を製造しており、他の追随を許さない総合的な製品・サービスラインアップを有しています。 また、ArFフォトレジストの製造は、ポジ型、ネガ型ともに国内トップクラスの設備で行っています。 ArFフォトレジストのソリューションをお探しのお客様は、ぜひ弊社までお問い合わせください。