TOKアメリカ
半導体|フォトレジスト|TOK半導体
高解像度・高アスペクト比のMEMS用構造体作製材料
パターンと粘着剤を一体化した素材
TOKでは、高RI、低RI、無溶剤高RIなど、信頼性、透明性に優れたUVインプリント材料を取り揃えています。これらの材料は、各種光学デバイス(DOE、AR導波路、3Dセンサーなど)に適用可能です。また、複雑な微細構造、マイクロレンズパターンの形成が可能です。