半導体製造

半導体製造分野のソリューション

半導体メーカーが作るデバイスは、スマートフォンやタブレットなどの情報端末、家電製品、パソコン、自動車、精密機械など、さまざまな製品に使われています。 また、サーバーやスーパーコンピューターなどの最先端技術にもこれらのデバイスが使用されています。 アプリケーションの多様化に伴い、多種多様な半導体デバイスが開発されています。

より広く多様な市場ニーズに対応するため、サブミクロンレベルの加工に対応したg線/i線フォトレジストや、ナノメートルレベルの加工に対応したKrF/ArFフォトレジストなど、新しいタイプのフォトレジストを発表してきました。 また、ArF液浸用のフォトレジストや、次世代光源といわれるEUV/電子ビーム用の新製品の開発にも積極的に取り組んでいます。

同時に、革新的なアイデアとさまざまな研究活動による入念な検証に基づいて、最先端のフォトレジストの開発にも取り組んでいます。 この新しいフォトレジストは、10ナノメートルスケールをターゲットとした超微細加工技術を可能にするものです。 また、上記製品以外にも、現像液、剥離液、シンナーなどの高純度薬品を提供しています。 高度な加工技術と各種加工装置を組み合わせた総合力で、半導体製造業界を支えています。

TOK Americaは、米国製のi-lineフォトレジストをはじめ、現像液(NMD-W、NMD-3 2.38%)、ポストエッチ剥離液を半導体業界に提供しています。 米国のチームがお客様のニーズをサポートします。 レジストの全ラインナップについては、米国と日本の両工場で製造された高品質な製品をご提供させていただきます。