半導体製造分野ソリューション
半導体メーカーは、スマートフォンやタブレット端末などの情報端末、家電製品、パソコン、自動車、精密機械など、さまざまな製品に使用されるデバイスを製造しています。 また、サーバーやスーパーコンピューターなどの最先端技術にも使われています。 アプリケーションの自由度が増すとともに、さまざまな半導体デバイスが開発されています。
多様化する市場ニーズに対応するため、サブミクロンレベルの加工に対応したg線/i線フォトレジスト、ナノメートルレベルの加工に対応したKrF/ArFフォトレジストなど、新しいタイプのフォトレジストをリリースしています。 また、ArF液浸用フォトレジストや、次世代光源として注目されているEUV/電子ビーム用の新製品開発にも積極的に取り組んでいます。
同時に、さまざまな研究活動を通じて、革新的なアイデアと丁寧な検証を重ね、最先端のフォトレジストの開発にも取り組んでいます。 この新しいフォトレジストにより、10ナノメートルをターゲットとした超微細加工技術が可能になります。 上記製品のほか、現像液、剥離液、シンナーなどの高純度化学品も提供しています。 高度な加工技術と各種加工装置を組み合わせた総合力で、半導体製造業界を支えています。
TOK Americaは、米国製のi-lineフォトレジストをはじめ、現像液（NMD-W、NMD-3 2.38%）、ポストエッチストリッピングソリューションを半導体業界に提供することが可能です。 米国チームがお客様のニーズをサポートします。 レジストの全ラインナップについては、米国と日本の両工場で生産された高品質な製品をご提供させていただきますので、お気軽にご相談ください。