KrFレジスト

TOK KrFフォトレジストソリューション

TOKでは、波長248nmで0.3umから3umの膜厚の用途に対応したKrFフォトレジスト材料を製造しています。 KrFフォトレジストには、ポジ型とネガ型があります。TOK KrFフォトレジストは、日本国内の工場で製造されています。 KrFフォトレジストのソリューションをお探しのお客様は、弊社までご連絡ください。