KrFレジスト

TOK KrFフォトレジストソリューション

TOKでは、248nmの波長に対応した0.3um~3umの膜厚を持つKrFフォトレジスト材料を製造しています。 KrF製品のラインナップには、ポジティブフォトレジストとネガティブフォトレジストがあります。TOKのKrFフォトレジストは、日本国内の工場で製造されています。 KrFフォトレジストをお探しのお客様は、弊社までお問い合わせください。

KrFレジストのロードマップ